韓國(guó)LS-邁克比恩伺服系統(tǒng)

多種產(chǎn)品線 50W-37KW

中空軸電機(jī) （60/130法蘭）

搭載自行研制的編碼器

增量式：1024-6000P/R

串行：19Bit單圈，16Bit多圈絕對(duì)值

Spinner電機(jī)（半導(dǎo)體設(shè)備專(zhuān)用）

適用于：晶元涂膠/顯影/清洗

DD電機(jī)：低轉(zhuǎn)速、高精度、高扭矩

3.0-160N.m產(chǎn)品多樣化

直線電機(jī)：高剛性、高精密

長(zhǎng)行程：5000—10000mm

Products Range

邁克比恩伺服系統(tǒng)

多種產(chǎn)品線 50W-37KW 中空軸電機(jī) （60/130法蘭） 搭載自行研制的編碼器 增量式：1024-6000P/R 串行：19Bit單圈，16Bit多圈絕對(duì)值 Spinner電機(jī)（半導(dǎo)體設(shè)備專(zhuān)用） 適用于：晶元涂膠/顯影/清洗 DD電機(jī)：低轉(zhuǎn)速、高精度、高扭矩 3.0-160N.m產(chǎn)品多樣化 直線電機(jī)：高剛性、高精密 長(zhǎng)行程：5000—10000mm